Picarro宣布推出一个完全优化的AMC监控系统"Picarro SAM"

  最近，Picarro宣布推出一个完全优化的AMC监控系统"Picarro SAM"。

 

  Picarro SAM由Picarro的工业领先的基于crds的传感器组成，该传感器已集成到最新的采样系统中。

  SAM单元可以在不影响传感器性能的情况下提供高吞吐量的采样。

 

  Picarro SAM系统是从组件产品(http://www.maoyihang.com/invest/)向系统解决方案的重大转变。一站式设计、制造和测试系统的好处包括：用于Picarro硬件和软件的全集成系统-无集成兼容性问题；对PicarroSAM系统进行了仔细的优化。

  系统性能符合PicarroSemi系统规范新发明的专利气体输送流形有助于SAM的显着性能优势，使其能够在非常短的时间内实现数十亿分之一(Ppt)的检测灵敏度，并迅速将SAM系统恢复到基线灵敏度水平。

  这使SAM成为在线实时AMC监控系统的理想选择。Picarro SAM系统具有易于使用的图形用户界面，可以进行各种图表和趋势分析。

 

  SAM可为Picarro SAM系统配置8或16个端口取样，目前可用于检测影响半导体晶片生产的三种关键AMC氨气、氟化氢和盐酸。

 

  SAM系统路线图还将支持复杂的AMC分析，以帮助客户更准确和快速地识别AMC事件的位置，从而能够更快地采取纠正行动，增加与AMC相关的晶圆生产。